导语：俄罗斯乌克兰之间的冲突正在引发对全球经济的担忧，半导体行业也受到影响。稀有气体作为半导体制造的工艺气体再次成为各界关注的焦点。
半导体大厂就纷纷发声：不必担心太多
韩国******的两家半导体公司负责人表示“不必担心太多”。相信进口来源多元化、扩大库存等应对措施已做好充分准备。三星电子总裁李正培表示，“我们准备得很好。” SK海力士代表李锡熙则称，“我们已经确保了很多库存”，并表示不必太担心。英特尔的发言人此前也表示，氖气供应问题暂时未对公司业务造成影响。
美光官网2月15日发布最新公告称：据我们了解，由于俄罗斯和乌克兰之间持续的紧张关系，惰性气体（尤其是氖气）供应可能中断的报道令半导体行业感到担忧。但是，美光公司所有的惰性气体都是进行多元化采购，氖气供应主要来自欧盟、美国和亚洲的各个供应商。
美光表示:“他们保持适当的惰性气体库存以支持业务发展，与主要供应商签订了多项长期供应协议，并与他们密切合作以确保供应不间断。我们将继续利用我们多元化的采购和全球制造足迹，为客户提供实现下一代产品所需的解决方案。"
据知情人士透露，美国白宫督促芯片公司要使其供应链多样化，以防俄罗斯对美国出口限制的威胁采取报复行动，即阻止美国公司获得氖气在内的半导体关键材料。金融服务公司花旗的分析师Peter Lee表示：“内存（芯片）制造商目前持有这些关键气体的6到8周库存，高于4周的正常水平。这些气体的供应高度依赖乌克兰，该地区军事行动造成的任何产出中断都可能导致半导体生产受到严重影响。
半导体制造中的稀有气体（氖）
TrendForce集邦咨询研究显示，DUV准分子激光当中所需要的惰性混合气体包含氖气，且氖气为混合气体当中的必要气体，难以取代。而半导体微影制程当中需要氖气的制程主要为DUV曝光，制程节点涵盖自8英寸晶圆180nm至12英寸晶圆1Xnm。晶圆代工方面，全球180~1Xnm产能占整体约75%，除有提供EUV先进制程的台积电（TSMC）及三星（Samsung）外，多数晶圆厂180~1Xnm营收占比超过九成，且自2020年起供货极为紧张的零组件包含PMIC、Wi-Fi、RFIC、MCU等制造制程皆落在此区间。DRAM方面，除了美光（Micron）外，韩厂正逐步加大1alpha nm（使用EUV制程）占比，但目前仍有超过九成的产能采用DUV制程；而NAND Flash则全数采用DUV微影技术。
中国已经完全掌握稀有气体精制技术
气体圈子总经理任路2月14日接受《环球时报》记者采访时表示，氖、氙、氪是半导体制造业不可缺少的工艺气体，供应链的稳定性极其重要，因为这将会严重影响生产的连续性。他表示，目前，乌克兰依然是全球氖气的主要生产国之一，由于俄乌局势不断升级，氖气供应链稳定性不免引起了全行业的恐慌。任路向《环球时报》记者分析说，这三种稀有气体是钢铁产业的副产品，由空气分离设备分离生产。前苏联钢铁等重工业规模庞大，因此稀有气体的分离作为附属产业一直也比较强大。前苏联解体后，即演化为由俄罗斯主要进行粗气分离，乌克兰境内的企业负责精制并向全球输出的局面。
任路表示，虽然氖、氪、氙为半导体行业生产所必需，但是其绝对使用量并不高，作为钢铁行业的副产品，全球市场体量不是很大。正是在这种关注度不高的情况下，加之提纯这些稀有气体需要一定的技术门槛，且与钢铁行业规模深度绑定，多年来，全球市场逐渐形成了依赖于俄罗斯与乌克兰组成的氖、氪、氙供应链。中国是全球钢铁大国，对于这些稀有气体的纯化技术已经实现了突破，生产工艺也比较成熟，不再是能够‘卡中国脖子’的技术了。即便是发生极端情况，中国也完全可以组织紧急生产以保障国内的供应。
中国拥有强大的稀有气体生产潜能
2月16日，盈德气体集团宣布“领氙”计划，持续扩大氪氙产能。“领氙”计划将分期建设两套氪氙精制装置。首套装置建成后或将成为亚太地区单体******的氪氙精制装置，是稀有气体领域的一项重要里程碑。杭氧股份2月16日也在公共平台表示，衢州杭氧特种气体有限公司2000Nm3/a氙气、20000Nm3/a氪气精炼提取装置及其配套建设项目预计于今年下半年完工。宝武清洁能源有限公司与浙江新锐空分设备有限公司2021年7月共同投资组建宝锐特气体有限公司，计划在3年内实现稀有气体产值翻倍，市场占有率达到************。
中国已经是全球稀有气体主要供应国
根据气体圈子发布的《2021年稀有气体进出口信息》，中国已经成为全球稀有气体供应的主要国家。2021年中国稀有气体（氪氖氙）主要出口至东南亚和欧美等国家。氖气出口量为6.5万立方，60%出口至韩国；氪气出口量为2.5万立方，37%出口至日本；氙气出口量为900立方，30%出口至韩国。
气体圈子【Gas Ecosphere】致力打造具有国际影响力的气体科技智库，专业从事气体领域人才培训、技术转化、产业研究。为国家部委、地方政府和气体产业链企业提供专业化咨询顾问服务。
